알루미나 세라믹 슬리브는 반도체 장비에서 중요한 부품으로, 고순도 알루미나 (예:99.5% 또는 99.9%)로 만들어집니다.I. 재료적 특성
1. 고온 저항:극단적인 온도 환경을 견딜 수 있고 열팽창 계수가 낮으며 고온에서 강한 안정성을 가집니다.
2. 절연 성능:높은 비저항으로 전자 장치의 절연 지원 및 진공 증발기 및 이온 이식기와 같은 반도체 제조의 응용 분야에 적합합니다.
3. 부식 및 마모 저항:화학적 부식 및 기계적 응력에 저항하여 장비 수명을 연장합니다.
전형적인 응용 프로그램
• 일반 반도체 장비에서 절연 지원 및 태양광 모듈 실링.
• 펌프, 메카니컬 실 및 석유 시추 장치와 같은 고속 회전 부품에 대한 마모 보호.
• 웨이퍼 연삭 장비에서 세라믹 플레이트 및 분리 링.
Supports custom specifications.
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